Fotografía por Gabiele Photography

Elipsometría

La elipsometría es una técnica utilizada para analizar las propiedades ópticas de las películas delgadas, como son su composición química, índice de refracción, permitividad dieléctrica, band gap y el grosor de películas delgadas. El proceso para obtener estas propiedades ópticas, es incidir luz polarizada sobre una muestra y analizar los cambios de la luz reflejada a un cierto ángulo, esto nos permite conocer la composición estructural y óptica de dicha muestra.
En el SAOM-Lab se cuentan con dos espectro-elipsómetros de ángulo variable que permiten obtener información de las propiedades ópticas en un amplio rango espectral. Esta técnica es rápida y de bajo costo que puede ser usada en películas delgadas de una o muchas capas.

Ventajas de la elipsometía:

• No destructiva e invasiva
• Exactitud < 10 nm
• Rango de estudio: 180nm - 1700nm
• Estudio de materiales dieléctricos a metales

Parámetros obtenidos por la elipsometría:

• Grosor de películas delgadas
• Constantes ópticas de un material
• Composición química
• Rugosidad
• Etc.
  

Equipos:

• Espectro-elipsómetro Woollam M-44 (282nm-763nm)
• Espectro-elipsómetro Woollam M-2000 DI (193nm-1690nm)